机台型号：PR10L（实验用机）
整机规格：600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
真空室规格：200(W)×200(H)×200(D)mm
电极规格：190 ×150×2层
电源系统：1KW等离子体发生源（可选13.56MHz）
控制系统：触摸屏+PLC自动控制
进气系统：2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化